Негосударственное образовательное учреждение
Институт «ТЕЛЕИНФО»
Физические основы электроники (ФОЭ)
Методические указания и контрольные задания для студентов
заочной и дистанционной форм обучения
Авторы составители: к.т.н., доцент Рудь В.В.
Редактор: д.т.н., профессор Сподобаев Ю.М.
Рецензент: д.т.н., профессор Логинов Н.П.
Самара, 2004
Физические основы электроники (ФОЭ)
Задание к выполнению контрольной работы
Целью данной контрольной работы является изучение электрофизических свойств и параметров собственных и примесных полупроводников и электронно-дырочных (p
-
n
) переходов, изготовленных на их основе, а также приобретение навыков их расчёта.
1. Исходные данные
1.1. Материал полупроводника – германий (Ge
) или кремний (Si
).
1.2. Концентрации примесей: в электронном полупроводнике –и в дырочном полупроводнике – .
1.3. Рабочая температура t
– в 0
С.
1.4. Приложенное к электронно-дырочному переходу напряжение – U
, В.
2. Задание контрольной работы
В соответствии с исходными данным необходимо выполнить следующие расчеты для электронно-дырочного перехода.
2.1. Определить равновесные концентрации подвижных носителей зарядов – в собственном полупроводнике.
2.2. Найти концентрации основных : и неосновных , носителей зарядов в примесных полупроводниках.
2.3. Определить положение уровня Ферми в собственном, электронном и дырочном полупроводниках и построить энергетические (зонные) диаграммы полупроводников в масштабе по оси энергий.
2.4. Определить энергетический и потенциальный барьеры, возникающие при образовании идеального электронно-дырочного перехода в состоянии равновесия.
2.5. Объяснить образование электронно-дырочного перехода.
2.6. Определить ширину идеального электронно-дырочного перехода в состоянии равновесия.
2.7. Построить в масштабе энергетическую (зонную) диаграмму идеального электронно-дырочного перехода в состоянии равновесия.
2.8. Определить ширину электронно-дырочного перехода при подаче на идеальный переход внешнего напряжения U
.
2.9. Построить в масштабе энергетическую (зонную) диаграмму идеального электронно-дырочного перехода при подаче на него прямого или обратного напряжения U
.
3. Выбор варианта задания для контрольной работы
Студенты, имеющие нечетную предпоследнюю цифру студенческого билета, выполняют задание с использованием полупроводников на основе кремния, а имеющие четную цифру – с использованием полупроводников на основе германия (см. табл. 1). Основные их параметры при температуре Т=3000
К приведены в табл. 2.
Таблица 1. Выбор исходных данных к выполнению контрольной работы
|   №№ вари анта
  | 
  Nd
 1/см3
  | 
  Na
 1/см3
  | 
  t
 0
 
  | 
 U
 В
  | 
  №№ варианта
  | 
  Nd
 1/см3
  | 
  Na
 1/см3
  | 
  t
 0
 
  | 
  U
 В
  | 
|   00
  | 
  1017
  | 
  1016
  | 
  10  | 
  0,3  | 
  10
  | 
  1016
  | 
  1017
  | 
  25  | 
  0,3  | 
|   01
  | 
  1017
  | 
  1015
  | 
  10  | 
  0,3  | 
  11
  | 
  1015
  | 
  1017
  | 
  10  | 
  0,3  | 
|   02
  | 
  1017
  | 
  5*1015
  | 
  10  | 
  0,3  | 
  12
  | 
  5*1015
  | 
  1017
  | 
  10  | 
  0,3  | 
|   03
  | 
  4*1017
  | 
  1016
  | 
  10  | 
  0,3  | 
  13
  | 
  1016
  | 
  4*1017
  | 
  10  | 
  0,3  | 
|   04
  | 
  4*1017
  | 
  1015
  | 
  10  | 
  0,3  | 
  14
  | 
  1015
  | 
  4*1017
  | 
  10  | 
  0,3  | 
|   05
  | 
  4*1017
  | 
  5*1015
  | 
  15  | 
  0,4  | 
  15
  | 
  5*1015
  | 
  4*1017
  | 
  10  | 
  0,35  | 
|   06
  | 
  5*1017
  | 
  5*1015
  | 
  15  | 
  0,4  | 
  16
  | 
  5*1015
  | 
  5*1017
  | 
  15  | 
  0,35  | 
|   07
  | 
  5*1017
  | 
  1016
  | 
  15  | 
  0,4  | 
  17
  | 
  1016
  | 
  5*1017
  | 
  15  | 
  0,35  | 
|   08
  | 
  5*1017
  | 
  1015
  | 
  15  | 
  0,4  | 
  18
  | 
  1015
  | 
  5*1017
  | 
  15  | 
  0,35  | 
|   09
  | 
  5*1017
  | 
  5*1015
  | 
  15  | 
  0,4  | 
  19
  | 
  5*1015
  | 
  5*1017
  | 
  15  | 
  0,35  | 
|   20
  | 
  1016
  | 
  5*1015
  | 
  20  | 
  0,25  | 
  30
  | 
  5*1015
  | 
  1016
  | 
  15  | 
  0,4  | 
|   21
  | 
  1016
  | 
  1016
  | 
  20  | 
  0,25  | 
  31
  | 
  1016
  | 
  1016
  | 
  20  | 
  0,4  | 
|   22
  | 
  1016
  | 
  1015
  | 
  20  | 
  0,25  | 
  32
  | 
  1015
  | 
  1016
  | 
  20  | 
  0,4  | 
|   23
  | 
  5*1016
  | 
  5*1015
  | 
  20  | 
  0,25  | 
  33
  | 
  5*1015
  | 
  5*1016
  | 
  20  | 
  0,4  | 
|   24
  | 
  5*1016
  | 
  8*1015
  | 
  20  | 
  0,25  | 
  34
  | 
  8*1015
  | 
  5*1016
  | 
  20  | 
  0,4  | 
|   25
  | 
  5*1016
  | 
  1016
  | 
  23  | 
  -3  | 
  35
  | 
  1016
  | 
  5*1016
  | 
  20  | 
  -3  | 
|   26
  | 
  5*1016
  | 
  1015
  | 
  23  | 
  -3  | 
  36
  | 
  1015
  | 
  5*1016
  | 
  23  | 
  -3  | 
|   27
  | 
  5*1016
  | 
  8*1014
  | 
  23  | 
  -3  | 
  37
  | 
  8*1014
  | 
  5*1016
  | 
  23  | 
  -3  | 
|   28
  | 
  1017
  | 
  5*1015
  | 
  23  | 
  -3  | 
  38
  | 
  5*1015
  | 
  1017
  | 
  23  | 
  -3  | 
|   29
  | 
  1017
  | 
  8*1015
  | 
  23  | 
  -3  | 
  39
  | 
  8*1015
  | 
  1017
  | 
  23  | 
  -3  | 
|   40
  | 
  1017
  | 
  1016
  | 
  25  | 
  -5  | 
  50
  | 
  1016
  | 
  1017
  | 
  23  | 
  -5  | 
|   41
  | 
  4*1017
  | 
  1015
  | 
  25  | 
  -5  | 
  51
  | 
  1015
  | 
  4*1017
  | 
  25  | 
  -5  | 
|   42
  | 
  4*1017
  | 
  8*1014
  | 
  25  | 
  -5  | 
  52
  | 
  8*1014
  | 
  4*1017
  | 
  25  | 
  -5  | 
|   43
  | 
  1016
  | 
  1017
  | 
  25  | 
  -5  | 
  53
  | 
  1017
  | 
  1016
  | 
  25  | 
  -5  | 
|   44
  | 
  1015
  | 
  1017
  | 
  25  | 
  -5  | 
  54
  | 
  1017
  | 
  1015
  | 
  25  | 
  -5  | 
|   45
  | 
  5*1015
  | 
  1017
  | 
  10  | 
  0,3  | 
  55
  | 
  1017
  | 
  5*1015
  | 
  25  | 
  0,3  | 
|   46
  | 
  1016
  | 
  5*1017
  | 
  10  | 
  0,3  | 
  56
  | 
  4*1017
  | 
  1016
  | 
  10  | 
  0,3  | 
|   47
  | 
  1015
  | 
  4*1017
  | 
  10  | 
  0,3  | 
  57
  | 
  4*1017
  | 
  1015
  | 
  10  | 
  0,3  | 
|   48
  | 
  5*1015
  | 
  4*1017
  | 
  10  | 
  0,3  | 
  58
  | 
  4*1017
  | 
  5*1015
  | 
  10  | 
  0,3  | 
|   49
  | 
  5*1015
  | 
  5*1017
  | 
  10  | 
  0,3  | 
  59
  | 
  5*1017
  | 
  5*1015
  | 
  10  | 
  0,3  | 
|   60
  | 
  1016
  | 
  5*1017
  | 
  15  | 
  0,35  | 
  70
  | 
  5*1017
  | 
  1016
  | 
  10  | 
  0,35  | 
|   61
  | 
  1015
  | 
  5*1017
  | 
  15  | 
  0,35  | 
  71
  | 
  5*1017
  | 
  1015
  | 
  15  | 
  0,35  | 
|   62
  | 
  5*1015
  | 
  5*1017
  | 
  15  | 
  0,35  | 
  72
  | 
  5*1017
  | 
  5*1015
  | 
  15  | 
  0,35  | 
|   63
  | 
  5*1015
  | 
  1016
  | 
  15  | 
  0,35  | 
  73
  | 
  1016
  | 
  5*1015
  | 
  15  | 
  0,35  | 
|   64
  | 
  1016
  | 
  1016
  | 
  15  | 
  0,35  | 
  74
  | 
  1016
  | 
  1016
  | 
  15  | 
  0,35  | 
|   65
  | 
  1015
  | 
  1016
  | 
  20  | 
  0,25  | 
  75
  | 
  1016
  | 
  1015
  | 
  15  | 
  0,4  | 
|   66
  | 
  5*1015
  | 
  5*1016
  | 
  20  | 
  0,25  | 
  76
  | 
  5*1016
  | 
  5*1015
  | 
  20  | 
  0,4  | 
|   67
  | 
  8*1015
  | 
  5*1016
  | 
  20  | 
  0,25  | 
  77
  | 
  5*1016
  | 
  8*1015
  | 
  20  | 
  0,4  | 
|   68
  | 
  1016
  | 
  5*1016
  | 
  20  | 
  0,25  | 
  78
  | 
  5*1016
  | 
  1016
  | 
  20  | 
  0,4  | 
|   69
  | 
  1015
  | 
  5*1016
  | 
  20  | 
  0,25  | 
  79
  | 
  5*1016
  | 
  1015
  | 
  20  | 
  0,4  | 
|   80
  | 
  8*1015
  | 
  5*1016
  | 
  23  | 
  -3  | 
  90
  | 
  5*1016
  | 
  8*1014
  | 
  20  | 
  -3  | 
|   81
  | 
  5*1015
  | 
  1017
  | 
  23  | 
  -3  | 
  91
  | 
  1017
  | 
  5*1015
  | 
  23< 
		
		/p>
  | 
  -3  | 
|   82
  | 
  8*1015
  | 
  1017
  | 
  23  | 
  -3  | 
  92
  | 
  1017
  | 
  8*1015
  | 
  23  | 
  -3  | 
|   83
  | 
  1016
  | 
  1017
  | 
  23  | 
  -3  | 
  93
  | 
  1017
  | 
  1016
  | 
  23  | 
  -3  | 
|   84
  | 
  1015
  | 
  4*1017
  | 
  23  | 
  -3  | 
  94
  | 
  4*1017
  | 
  1015
  | 
  23  | 
  -3  | 
|   85
  | 
  8*1014
  | 
  4*1017
  | 
  25  | 
  -5  | 
  95
  | 
  4*1017
  | 
  8*1014
  | 
  23  | 
  -5  | 
|   86
  | 
  5*1014
  | 
  4*1017
  | 
  25  | 
  -5  | 
  96
  | 
  4*1017
  | 
  5*1014
  | 
  25  | 
  -5  | 
|   87
  | 
  5*1014
  | 
  1017
  | 
  25  | 
  -5  | 
  97
  | 
  1017
  | 
  5*1014
  | 
  25  | 
  -5  | 
|   88
  | 
  5*1014
  | 
  5*1016
  | 
  25  | 
  -5  | 
  98
  | 
  5*1016
  | 
  5*1014
  | 
  25  | 
  -5  | 
|   89
  | 
  5*1014
  | 
  1016
  | 
  25  | 
  -5  | 
  99
  | 
  1016
  | 
  5*1014
  | 
  25  | 
  -5  | 
4. Перечень формул к выполнению контрольной работы
4.1. Для собственного (чистого) полупроводника
Для собственного (чистого или идеального) полупроводника равновесные концентрации электронов и дырок ni
=pi
определяются выражением
, (1)
В выражении (1) ΔW = – ширина запрещенной зоны полупроводника,
и - «дно» зоны проводимости и «потолок» валентной зоны соответственно,
k
– постоянная Больцмана, равная k
=1,3805*10-23
Дж/0
К,
Т
– абсолютная температура в градусах Кельвина (T
=t
+ 2730
К), 
N
– среднее геометрическое значение эффективных плотностей энергетических состояний в зоне проводимости  и валентной зоне , т.е. плотность разрешенных уровней энергии (которые могут занимать электроны). Их численные значения определяются выражениями
, , (2)
. (3)
В выражениях (2) и (3)  и  - эффективные массы соответственно электрона и дырки, определяемые по данным табл. 2,   – масса электрона в состоянии покоя,  = 9,1095*10-31 кг,
h
– постоянная Планка, h
=6,6262*10-34
Дж*с.
Уровень Ферми в собственном полупроводнике находится в середине запрещённой зоны и определяется выражением
, (4)
В выражении (4) WE
– так называемый электростатический уровень (т.е. уровень, соответствующий середине ширины запрещённой зоны).
4.2. Для примесных полупроводников
В случае примесных полупроводников концентрации подвижных носителей зарядов n
и p
определяются известным соотношением концентраций подвижных носителей зарядов
. (5)
В рабочем диапазоне температур практически все атомы примеси оказываются ионизированными, поэтому с учётом того, что на практике концентрации примесей выбираются из условий Nd
>>
ni
, и Na
>>р
i
, для концентраций основных носителей зарядов полупроводников n
и p
типов с весьма высокой степенью приближения соответственно выполняются условия
nn
≈ 
Nd
и pp
≈ 
Na
. 
Тогда с учётом (5) соотношения для концентраций неосновных носителей зарядов принимают вид (6)
и . (6)
Уровни Ферми в примесных полупроводниках определяются выражениями
, (7)
. (8)
В выражениях (7) и (8) WFn
– уровень Ферми в электронном полупроводнике, WFp
– уровень Ферми в дырочном полупроводнике, Nd
– концентрация донорной примеси, Na
– концентрация акцепторной примеси.
Сравнение выражений (4), (7) и (8) показывает, что уровни Ферми собственного и примесных полупроводников неодинаковы. Иначе говоря, между ними существует следующее соотношение
WFn
>
WFi
>
WFp
. (9)
4.3. Для электронно-дырочного (
p
-
n
) перехода
При образовании двухслойных контактов (переходов) p-
i
, i-
n
или p-
n
между полупроводниками, образующими их, в результате перераспределения подвижных носителей зарядов происходит выравнивание уровней Ферми, т.е. в каждом случае формируется уровень Ферми единый для всего контакта. В результате на границе раздела в контактах происходит деформация энергетических зон и образование энергетического и потенциального барьеров (контактной разности потенциалов). Их величины и знаки можно определить с учётом (4) и (7…9).
В случае электронно-дырочного перехода энергетический барьер определится в виде
. (10)
В выражении (10) Wcp
и Wcn
, – границы между зонами проводимости («дно» зон проводимости) и запрещённой зоной областей p
и n
электронно-дырочного перехода, а Wvp
и Wvn
– границы между валентными зонами («потолок» валентных зон) и запрещённой зоной областей p
и n
.
Высота потенциального барьера (контактная разность потенциалов) в идеальном электронно-дырочном переходе в состоянии равновесия и отсутствии внешнего напряжения равна
. (11)
В выражении (11) e
– заряд электрона, e
=1,6022*10-19
Кл (без учёта знака).
Ширина идеального электронно-дырочного перехода в состоянии равновесия δ0
определяется выражением (12)
, (12)
где – абсолютная диэлектрическая проницаемость полупроводника,
ε0
– универсальная физическая постоянная (или диэлектрическая проницаемость вакуума), равная ε0
=0,885*10-13
Ф/м ,
ε –относительная диэлектрическая проницаемость полупроводника, определяемая из табл.2.
4.4. Для 
p
-
n
 перехода, смещённого внешним напряжением 
U
При подаче внешнего напряжения высота потенциального барьера в идеальном p-n переходе становится равной φ = φk
– U
, (обратное напряжение берется со знаком –).
В этом случае высота энергетического барьера p-
n
перехода станет равной (13)
(13)
Ширина идеального электронно-дырочного приобретает вид (14)
. (14)
Смещение уровня Ферми в пределах p
-
n
перехода определится выражением (15)
. (15)
Равновесное состояние p-n перехода нарушается и через него преимущественно протекают либо диффузионные потоки основных зарядов (при U
>0), либо дрейфовые потоки неосновных зарядов (при U
<0).
5. Методические указания к выполнению работы
5.1. При выполнении расчётов следует учитывать, что параметры полупроводников приведены в табл. 2 для температуры Т
=3000
К. Поэтому при расчёте равновесных концентраций собственного полупроводника по формуле (1) необходимо учитывать температурные зависимости эффективных плотностей N
, Nc
и Nv
, пользуясь выражениями (2,3,4), а также температурную зависимость ширины запрещённой зоны ΔW
.
5.2. Ширину запрещённой зоны ΔW
для германия при температурах выше 2000
К можно определить по эмпирической зависимости ΔW
=0,782 – 3,9·10-4
·Т
(эВ).
5.3. Для ширины запрещённой зоны кремния при температурах выше справедливо аналогичное соотношение ΔW
=1,205 – 2,84·10-4
·Т
(эВ).
5.4. Вычисленные по п.п. 5.2 и 5.3 значения ΔW
при подстановке в формулу (1) следует из эВ перевести в джоули, умножив их на заряд электрона е
.
5.5. При вычислении уровней Ферми и построении энергетических диаграмм электронного и дырочного полупроводников, а также электронно-дырочного перехода необходимо в каждом случае их отсчёт производить не от уровня W
=0, а от нижнего уровня зоны проводимости Wc
каждой (n
или p
) областей полупроводника. Тогда выражения (4), (7) и (8) преобразуются соответственно к виду
 , (41
) 
, (71
)
. (81
)
5.6. При построении энергетических (зонных) диаграмм рекомендуется для всех энергетических уровней использовать единицу измерения – эВ.
Таблица 2. Основные параметры 
Ge
, 
Si
 и 
GaAs
|   Параметр (при Т=3000
  | 
  Германий  | 
  Кремний  | 
  Арсенид галлия  | 
|   Собственное удельное сопротивление ρ, Ом.см  | 
  47  | 
  2,3*105
  | 
  108
  | 
|   Ширина запрещённой зоны ΔW
  | 
  0,67  | 
  1,12  | 
  1,42  | 
|   Эффективная масса электрона по отношению к массе свободного электрона mn
  | 
  0,22  | 
  0,33  | 
  0,07  | 
|   То же для дырок m
  | 
  0,39  | 
  0,55  | 
  0,5  | 
|   Эффективная плотность состояний, см-3
  | 
|||
|   в зоне проводимости Nc
  | 
  1019
  | 
  2,8*1019
  | 
  4,7*1017
  | 
|   в валентной зоне Nv
  | 
  6*1018
  | 
  1019
  | 
  7*1017
  | 
|   Собственная концентрация ni
  | 
  2,4*1013
  | 
  1,45*1010
  | 
  1,8*106
  | 
|   Подвижность, см2
  | 
|||
|   электронов μn
  | 
  3900  | 
  1500  | 
  8500  | 
|   дырок μр
  | 
  1900  | 
  450  | 
  400  | 
|   Коэффициент диффузии, см2
  | 
|||
|   электронов Dn
  | 
  100  | 
  36  | 
  290  | 
|   дырок Dр
  | 
  45  | 
  13  | 
  12  | 
|  Электрическое поле пробоя, В/см
 | 
  1,42  | 
  1,05  | 
  1,15  | 
|   Относительная диэлектрическая проницаемость ε  | 
  16  | 
  12  | 
  13  | 
5. Литература
1. Петров К.С. Радиоматериалы, радиокомпоненты и электроника: Учебное пособие/ – СПб. Питер, 2003. – 512 с.: ил.
2. Пасынков В.В., Чиркин Л.К. Полупроводниковые приборы: Учебник для вузов. 7-е изд., испр. – СПб.: Издательство «Лань», 2003. – 480 с.: ил. – (Учебники для вузов. Специальная литература).
3. Батушев В.А. Электронные приборы: Учебник для вузов. – 2-е изд., перераб. и доп. – М: Высш. шк., 1980. – 383 с.: ил.
4. Электронные приборы: Учебник для вузов/ В.Н. Дулин, Н.А. Аваев, В.П. Дёмин и др.; Под ред. Г.Г. Шишкина. – 4-е изд., перераб. и доп. . – М: Энергоатомиздат, 1989. – 486 с.: ил.
5. Фридрихов С.А. Мовнин С.М. Физические основы электронной техники: Учебник для вузов. – М.: Высш. шк., 1982. – 608 с.: ил.
6. Степаненко И.П. Основы микроэлектроники: Учеб. пособие для вузов. – 2-е изд., перераб. и доп. – М.: Лаборатория базовых знаний, 2000. – 488 с.: ил.
7. Пасынков В.В., Сорокин Материалы электронной техники: Учебник. 5-е изд., стер. – СПб.: Издательство «Лань, 2003. – 368 с., ил. – (Учебники для вузов. Специальная литература).
8. Андреев В.М. и др. Материалы микроэлектронной техники: Учеб. пособие для вузов. – М.: Радио и связь, 1989.
9. Бреус. А.И. Физические основы электроники.: Конспект лекций. – Самара: 2003. – 58 с.: ил.
10. Логинов Н.П., Рудь В.В., Маслов М.Ю., Ситникова С.В. Химия радиоматериалов: Методические указания и контрольные задания для студентов дневной, заочной и дистанционной форм обучения всех специальностей по направлению «Телекоммуникации». – Самара: ПГАТИ, 2003. – 18 с.: ил.
11. Рудь В.В., Коновалов А.П., Луппов А.Н., Ситникова С.В. Методическая разработка по темам лабораторных модулей 3,4,5. Исследование полупроводниковых приборов. – Самара: ПГАТИ, 1995. – 102 с.: ил.
ПРИЛОЖЕНИЕ
Значения энергии ионизации (активации) примеси различного типа
Полупроводник электронного типа
|   
 Донорная примесь
  | 
  Энергия ионизации примеси 
  | 
|
|   Материал
  | 
||
|   Германий (
  | 
  Кремний (
  | 
|
|   Фосфор (Р
  | 
  0,012
  | 
  0,044
  | 
|   Мышьяк (
  | 
  0,013
  | 
  0,049
  | 
|   Сурьма (
  | 
  0,0096
  | 
  0,039
  | 
Полупроводник дырочного типа
|   Акцепторная
 примесь
  | 
  Энергия ионизации примеси 
  | 
|
|   Материал
  | 
||
|   Германий (
  | 
  Кремний (
  | 
|
|   Бор (Р
  | 
  0,0104
  | 
  0,045
  | 
|   Алюминий (
  | 
  0,01
  | 
  0,0
  | 
|    Галлий (
  | 
  0,0108
  | 
  0,065
  | 
|   Индий (
  | 
  0,0112
  | 
  0,16
  |